该技术利用高能紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧的氧化能力和臭氧在紫外光的照射下产生的高活性的离子氧（羟基自由基）将恶臭物质转化为无毒害的二氧化碳、水、硫酸、硝酸等简单无机物，从而达到净化废气的目的，该反应过程是高能紫外线辐射和臭氧协同作用下的一种高级氧化过程。

紫外光和臭氧协同作用较单独臭氧氧化效率高很多，紫外光的照射会加速臭氧的分解，产生的活性自由基·OH的氧化电位（2.8ev）比氧化性极强的臭氧的氧化电位（2.07）还高出35%，因此羟基自由基与有机物的反应速度高出几个数量级，而且羟基自由基对氧化污染物的反应是无选择性的，可引发链式反应，因此恶臭物质不仅能被臭氧直接氧化，而且能被臭氧分解的产物羟基自由基氧化，且后者在紫外光作用下占主导地位。

2）设备结构&工艺流程